অতি উচ্চ রেজোলিউশন ক্ষেত্র প্রক্ষেপণ স্ক্যান ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ SU8600 সিরিজ
দ্রুত তথ্য সংগ্রহ এবং তথ্য প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তির বিকাশের সাথে সাথে, ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ একটি যুগে প্রবেশ করেছে যা শুধুম SU8600 সিরিজ রেগুলাস 8200 সিরিজের উচ্চ মানের চিত্র, বড় বিম প্রবাহ বিশ্লেষণ এবং দীর্ঘ সময়ের জন্য স্থিতিশীল অপারেশনের জন্য শীতল ক্ষেত্র ইমেজিং প্রযুক্ত
- *
- ডিভাইসের ছবিতে বিকল্প রয়েছে।
-
বৈশিষ্ট্য
-
স্পেসিফিকেশন
বৈশিষ্ট্য
বৈশিষ্ট্য
অতি উচ্চ রেজোলিউশন ইমেজিং
হিতাচির উচ্চ উজ্জ্বলতা ইলেকট্রনিক উৎস অতি নিম্ন ল্যান্ডিং ভোল্টেজের অধীনেও অতি উচ্চ রেজোলিউশনের চিত্র পাওয়ার ন
0.8 কেভি ভোল্টেজ অবস্থায় RHO টাইপের জিওলাইটের উদাহরণ পর্যবেক্ষণ করা হয়। বাম চিত্রটি কণার সামগ্রিক আকৃতি, ডান চিত্রটি বৃদ্ধি চিত্র, কণার পৃষ্ঠের সূক্ষ্ম ধাপের কাঠামো স্পষ্টভাবে দৃ কম ভোল্টেজ পর্যবেক্ষণ ইলেকট্রন বিম ক্ষতি হ্রাস এবং পৃষ্ঠের আকৃতি তথ্য পেতে কার্যকর।
নমুনা সরবরাহ করা হয়েছে: জাপানের শিল্প প্রযুক্তির সামগ্রিক গবেষণা ইনস্টিটিউট মিস্টার কিয়াদা
উচ্চ liner কম ত্বরান্বিত ভোল্টেজ পিছনে ছড়িয়ে ছবি
3D NAND সেকশন পর্যবেক্ষণ;
কম ত্বরান্বিত ভোল্টেজের অবস্থায়, ব্যাক বিস্তারিত ইলেকট্রনিক সংকেত সিলিকান অক্সাইড স্তর এবং সিলিকান নাইট্রাইড স্
3D NAND সেকশন পর্যবেক্ষণ (ত্বরান্বিত ভোল্টেজ: 1.5kV)
দ্রুত বিএসই ইমেজ: নতুন ফ্ল্যাশিং বডি ব্যাক ডিস্প্রেশন ইলেকট্রন ডিটেক্টর (ওসিডি)*
নতুন ধরনের ওসিডি ডিটেক্টর ব্যবহারের জন্য ধন্যবাদ, স্ক্যানের সময় 1 সেকেন্ডের কম হলেও ফিন-এফইটির স্পষ্ট গভীর কাঠামোর চিত্রগুল
5 ন্যানো প্রক্রিয়া SRAM এর অভ্যন্তরীণ কাঠামোগত পর্যবেক্ষণ (ত্বরান্বিত ভোল্টেজ: 30kV, স্ক্যান সময় <1 সেকেন্ড)
উন্নত অটোমেশন ফাংশন*
EM Flow Creator গ্রাহকদের ক্রমাগত ছবি সংগ্রহের জন্য স্বয়ংক্রিয় ওয়ার্কফ্লো তৈরি করতে দেয়। ইএম ফ্লো ক্রিয়েটর বিভিন্ন এসইএম বৈশিষ্ট্যগুলিকে গ্রাফিকাল মডিউল হিসাবে সংজ্ঞায়িত করে যেমন জ্যাম্পেশন সেট করা, নমুনা অবস্থান সরানো, ব্যবহারকারীরা সহজ মাউসের মাধ্যমে এই মডিউলগুলিকে তার্কিক ক্রমে একটি কাজের প্রোগ্রামে গঠিত করতে পারেন। ডিবাগ এবং নিশ্চিতকরণের পর, প্রোগ্রামটি প্রতিটি কলের সময় স্বয়ংক্রিয়ভাবে উচ্চ মানের, পুনরাবৃত্তিযোগ্য চিত
নমনীয় ইউজার ইন্টারফেস
স্থানীয় সমর্থন ডাবল মনিটর, নমনীয় এবং দক্ষ অপারেটিং স্পেস সরবরাহ করে। 6 চ্যানেল একই সময়ে প্রদর্শন এবং সংরক্ষণ, দ্রুত মাল্টি সংকেত পর্যবেক্ষণ এবং সংগ্রহ অর্জন।
1, 2, 4 বা 6 চ্যানেল সংকেতগুলি একই মনিটরে একই সময়ে প্রদর্শিত হতে পারে এবং স্যুইচযোগ্য বিষয়বস্তু SEM ডিটেক্টরগুলির পাশাপাশি নমুনা ক দুটি মনিটর ব্যবহার করে ওয়ার্কস্পেস সম্প্রসারিত করা যেতে পারে, কাজের দক্ষতা বাড়ানোর জন্য কাস্টমাইজযোগ্য ইউজার
স্পেসিফিকেশন
মডেল | SU8600 সিরিজ | |
---|---|---|
ইলেকট্রনিক অপটিক্যাল সিস্টেম | দ্বিতীয় ইলেকট্রনিক রেজোলিউশন | 0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * | ||
বৃদ্ধি করুন | 20 to 2,000,000 x | |
ইলেকট্রনিক বন্দুক | ঠান্ডা ক্ষেত্র ইলেকট্রনিক উৎস প্রকাশ, নমনীয় ফ্ল্যাশিং ফাংশন সমর্থন করে, অ্যানোড বেকিং সিস্টেম সহ। | |
ত্বরান্বিত ভোল্টেজ | 0.5 to 30 kV | |
অবতরণ ভোল্টেজ | 0.01 to 20 kV | |
ডিটেক্টর | (আংশিকভাবে বিকল্প) | উপর ডিটেক্টর (UD) |
SE/BSE সংকেত মিশ্রণ সহ UD ExB শক্তি ফিল্টার | ||
নিম্ন ডিটেক্টর (LD) | ||
শীর্ষ ডিটেক্টর (টিডি) | ||
TD শক্তি ফিল্টার | ||
আয়নার মধ্যে পিছনে ছড়িয়ে ইলেকট্রনিক ডিটেক্টর (আইএমডি) | ||
সেমিকন্ডাক্টর ব্যাক ডিস্প্রেশন ইলেকট্রনিক ডিটেক্টর (PD-BSED) | ||
নতুন ফ্ল্যাশিং শারীরিক ব্যাক ডিস্প্রেশন ইলেকট্রনিক ডিটেক্টর (ওসিডি) | ||
ক্যাথোড ফ্লোরোসেন্স ডিটেক্টর (সিএলডি) | ||
স্ক্যান ট্রান্সমিশন ডিটেক্টর (STEM Detector) | ||
আনুষংগিক | (আংশিকভাবে বিকল্প) | ন্যাভিগেশন ক্যামেরা, নমুনা কক্ষ ক্যামেরা, এক্স-রে এনার্জি স্পেকট্রোমিটার (ইডিএস), ব্যাক ডিস্প্রেশন ইলেকট্রন ডি |
সফটওয়্যার | (আংশিকভাবে বিকল্প) | EM Flow Creator, HD Capture (সর্বোচ্চ 40,960 x 30,720 পিক্সেল) |
নমুনা টেবিল | মোটর ড্রাইভ অক্ষ | 5 অক্ষ মোটর ড্রাইভ (এক্স / ওয়াই / আর / জেড / টি) |
মোটর ড্রাইভ অক্ষ | X:0~110 mm | |
Y:0~110 mm | ||
Z:1.5~40 mm | ||
T:-5~70° | ||
R:360° | ||
নমুনা কক্ষ | নমুনা আকার | সর্বোচ্চ ব্যাসার্ধ: 150 মিমি |
- *
- গতি কমানোর মোডে
সম্পর্কিত পণ্য বিভাগ
- ফোকাস আয়ন বিম সিস্টেম (FIB/FIB-SEM)
- TEM / SEM নমুনা প্রাক প্রক্রিয়াকরণ ডিভাইস